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更新時(shí)間：2025-07-08
合測(cè)實(shí)業(yè)為日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐一級(jí)代理商/特約經(jīng)銷(xiāo)商。DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐最高工作溫度500℃、潔凈度100 級(jí)、氧濃度低于20ppm，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓（光刻膠PI、PBO 固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。
日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐產(chǎn)品特點(diǎn)：
潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。
最高工作溫度500℃。
采用耐熱高性能高效過(guò)濾器，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。
高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時(shí)間短，N2 消耗量極低。
磁密封保持高氣密性，采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。
可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。
標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置，對(duì)氣體進(jìn)行冷卻回收。
日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào) | DTN450C | DTN650C |
| 外形尺寸（寬× 深× 高mm） | 1240×1010×1750 | 1450×1060×1960 |
| 內(nèi)尺寸（寬× 深× 高mm） | 450×450×450 | 660×500×660 |
| 內(nèi)部容積 | 91L | 216L |
| 溫度范圍 | 室溫+50 ～ 500℃ | |
| 溫度調(diào)節(jié)精度 | ±1.0℃（at500℃） | |
| 溫度分布精度 | ±8.0℃（at500℃） | |
| 最高溫度到達(dá)時(shí)間 | 約110 分 | |
| 氧濃度 | 20ppm 以下 | |
| 氧濃度到達(dá)時(shí)間 | ≤ 20 分（250L/min 氮?dú)猓?/td> | ≤ 25 分（250L/min 氮?dú)猓?/td> |
| 潔凈度 | 溫度恒定時(shí)100 級(jí) | |
| 加熱方式 | 不銹鋼加熱管 | |
| 冷卻機(jī)構(gòu) | 不銹鋼冷卻水換熱器 | |
| HEPA 過(guò)濾器 | 集塵效率：0.3um 粒子99.97% 以上 | |
| 排氣口 | 40KF 法蘭 | |
| 氮?dú)馊肟?/td> | Rc1/2 | |
| 冷卻水入口 | Rc3/4 | |
| 熱水出口 | Rc3/4，2 個(gè) | |
| 電源（50/60Hz）額定電流 | 3 相AC380V 20A | 3 相AC380V 27A |
安全性：
門(mén)檢測(cè)開(kāi)關(guān)
溫度過(guò)升防止器
氧濃度異常安全裝置
氮?dú)鈮毫z測(cè)
氮?dú)饬髁繖z測(cè)
冷卻水流量檢測(cè)
漏水傳感器
過(guò)電流漏電漏電保護(hù)開(kāi)關(guān)
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